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| 数字真空镀膜电源系列
直流叠加脉冲偏压电源
作者:admin 发布时间:2013-09-17 13:49 文章来源:未知
JCL-ZDPY/SZDPY直流叠加脉冲偏压电源
主要特点
JCL-ZDPY可方便地在带载情况下通过直流电压和脉冲电压实现直流、单极脉冲和直流叠加脉冲三种偏压模式。配合脉冲频率和占空比调节,可控制成膜温度增加膜基结合力,提高沉积和高品质镀膜系统。
1、DSP数字化控制/精度高/重复性好,配有控制面板和控制程序。
2、具有过流、过热、过压、短路保护。
3、控制方式:恒压、恒流、恒功率。
4、风冷
5、根据用户要求预留光纤通讯接口(远控功能)

主要参数
负脉冲工作电压可分为A、B两档,每一档内的电压连续可调,脉冲上升、下降快,脉冲幅值稳定:
A:100~1000V
B:50~500V
直流电压:20V~200V连续可调、自动稳压、稳压精度1%
脉冲频率:20KHz~40KHz(连续可调或定额)
脉冲占空比:10%~80%(连续可调)


型号 功率 工作电压电流(脉冲) 脉冲频率 占空比 冷却方式 工作电压电流(直流)
ZDPY-5 5kW 100~1000V/4A 20~40kHz连续可调   或定频40kHz 10%~80%  连续可调 风冷 20~200V/5A
50~500V/8A
25~250A/16A
ZDPY-10 10kW 100~1000V/8A 20~40kHz连续可调   或定频40kHz 10%~80%  连续可调 风冷 20~200V/10A
50~500V/16A
25~250A/32A
ZDPY-20 20kW 100~1000V/16A 20~40kHz连续可调   或定频40kHz 10%~80%  连续可调 水冷 20~200V/20A
50~500V/32A
25~250A/64A
ZDPY-30 30kW 100~1000V/24A 20~40kHz连续可调   或定频40kHz 10%~80%  连续可调 水冷 20~200V/30A
50~500V/48A
25~250A/96A
ZDPY-50 50kW 100~1000V/40A 20~40kHz连续可调   或定频40kHz 10%~80%  连续可调 水冷 20~200V/50A
50~500V/80A
25~250A/160A
ZDPY-70 70kW 100~1000V/56A 20~40kHz连续可调   或定频40kHz 10%~80%  连续可调 水冷 20~200V/70A
50~500V/112A
25~250A/224A
ZDPY-100 100kW 100~1000V/80A 20~40kHz连续可调   或定频40kHz 10%~80%  连续可调 水冷 20~200V/100A
50~500V/160A
25~250A/320A
 


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