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| 数字真空镀膜电源系列
非对称双极脉冲磁控溅射电源
作者:admin 发布时间:2013-09-13 17:08 文章来源:未知
JCL-FSZP/SFZP非对称双极脉冲磁控溅射电源

主要特点:
可单靶或双靶工作,双靶工作时,两个靶的材料和尺寸都可以不同,每个靶的溅射电流可分别设定;单靶工作时也可以减少电荷累积引起的异常放电。适合于镀制碳化物、氧化物、氮化物等膜层,双靶运用可方便控制成分比。
1、DSP数字化控制/精度高/重复性好,配有控制面板和控制程序。
2、具有过流、过热、过压、短路保护。
3、控制方式:恒压、恒流、恒功率
4、冷却方式:风冷;风冷+水冷
5、根据用户要求预留PLC远控接口(远控功能)

主要参数:
空载电压≥800V,工作电压:200-750V
正负极性平均电流独立稳流,稳流精度1%
脉冲频率:5KHZ-40KHZ,连续可调或定频40KHZ
脉冲占空比:10%-80%,连续可调
 


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