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高功率脉冲磁控溅射电源
作者:admin 发布时间:2013-09-12 14:09 文章来源:未知
JCL-HIP高功率脉冲磁控溅射电源
 
主要性能
JCL-HIP高功率脉冲磁控溅射电源以快速开关控制正负电极放电,避免从传统磁控溅射之异常辉光放电区进入电弧放电区,电流密度可达1019 /m3 ,比传统磁控溅射高三个量级,离化率更高达70%-100% ,可轻易沉积各种高级膜,附着力强。几乎不用改变原来磁控溅射镀膜设备,可直接更换电源即可。

主要特点
DSP全数字控制,自动化程度高
具有过流、过压、超温保护
全逆变设计,大功率IGBT功率模块为主要器件,脉冲输出有较强的冲击力,单脉冲功率可达MW级

主要参数
1、       输入电压:380V±5%,50HZ,三相交流;
2、       输出电压:100V-4000V,脉冲电压;
3、       输出电流:100A-2000A,脉冲电流;
4、       输出脉宽:5-2500us,可设定;
5、       频率:30Hz-50kHz,可选择范围;
6、       输出功率:10KW  20KW  30KW  40KW  50KW
 


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